학회 | 한국고분자학회 |
학술대회 | 2012년 가을 (10/11 ~ 10/12, 창원컨벤션센터) |
권호 | 37권 2호 |
발표분야 | 분자전자 부문위원회 |
제목 | Fabrication of Organic Field-Effect Transistors by Pen-Lithography: Highly Efficient Patterning Technique based on Capillary Phenomenon |
초록 | 저비용, 대면적에서 유기박막트랜지스터(organic field-effect transistors, OFETs)를 패턴하기 위한 연구가 활발히 진행되고 있다. 현재 연구되고 있는 대표적인 패턴방법으로 잉크젯 프린팅 공정을 들 수 있다. 이 기술은 정교한 패턴을 효율적으로 형성할 수 있는 장점이 있지만, 패턴된 모양이 제한적이며 외부 공정변수에 의해 영향을 받는 단점이 있다. 본 연구팀은 유기전자소자의 효율적인 패턴공정을 위해 모세관 현상을 이용한 pen-lithography를 도입하였다. Pen-lithography는 용액공정이 가능한 모든 유기재료에 적용할 수 있는 범용성과 점/선/면 등 다양한 패턴 모양을 형성할 수 있는 장점을 가지고 있다. Pen-lithography를 이용하여 TIPS-pentacene, PTAA, ZnO의 반도체 재료로 FET를 제조한 결과, TIPS-pentacene인 경우 0.015cm^2/Vs의 전계이동도와 10^6의 점멸비를 측정하였다. |
저자 | 민홍기1, 이화성1, 강보석2 |
소속 | 1한밭대, 2포항공과대 |
키워드 | pen-lithography; Organic Field-Effect Transistors; Pattern |