| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2017년 가을 (11/08 ~ 11/10, 부산 벡스코(BEXCO)) |
| 권호 |
21권 2호 |
| 발표분야 |
디스플레이_포스터 |
| 제목 |
CYTOP을 이용한 ZnO 나노 막대 패턴 및 트랜지스터 제조 |
| 초록 |
본 연구에서는 ZnO를 패턴하기 위해 표면에너지 차이를 이용하려 한다. CYTOP는 구조상 불소를 많이 함유하고 있어 소수성을 가지기 때문에 ZnO와의 습윤성, 젖음성이 좋지 않아 패턴된 기판의 표면에너지 차이로 패턴이 형성된 친수성 기판에만 ZnO seed layer가 코팅된다. 이후 Chemical Bath Method를 이용하여 ZnO를 성장 시켜 나노 막대 패턴으로 제조 함으로써 공정 상 가격, 시간 또한 절약 할 것 이다. 본 연구는 한국교통대학교 공학교육혁신센터의 2017 창의적 종합설계 시작품제작 지원사업 지원으로 수행함. |
| 저자 |
채존영, 이호승, 장준영, 이기환, 오인권, 안태규
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| 소속 |
한국교통대 |
| 키워드 |
표면에너지; CYTOP; 금속산화물 반도체; 투명 디스플레이
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