| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2008년 가을 (11/12 ~ 11/14, ICC 제주) |
| 권호 |
12권 2호 |
| 발표분야 |
환경에너지 |
| 제목 |
Counter Diffusion CVD(Chemical Vapor Deposition)법을 이용한 Nano porous Ceramic membrane의 제조 |
| 초록 |
수소 분리막 중 실리카막은 세라믹막의 특징을 가지면서 졸겔법 혹은 CVD법에 의해 저렴하게 제조할 수 있다는 장점을 가지고 있다. CVD방법 중 Counter Diffusion CVD법은 carrier가스와 활성가스를 막을 중심으로 서로 다른 쪽에서 주입하여 기공부분에서 증착시키는 방법으로일반적인 CVD보다 낮은 온도에서 이루어진다는 장점이 있다. 본 연구에서는 Counter Diffusion CVD 방법에 의해 실리카 나노입자를 막 표면에 화학적으로 증착시켜 수소만 선택적으로 투과할 수 있는 수소분리막을 제조하였고 제조된 막의 기체투과도와 선택도를 측정하였다. |
| 저자 |
한혁희, 이용택
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| 소속 |
경희대 |
| 키워드 |
counter diffusion CVD; ceramic membrane; silica membrane; hydrogen separation
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