| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2021년 봄 (05/12 ~ 05/14, 광주 김대중컨벤션센터) |
| 권호 | 27권 1호 |
| 발표분야 | A. 전자/반도체 재료 분과 |
| 제목 | Single Chamber에서 시간 분할 ALD Valve Monitoring & Control이 가능한 고성능 Fault Detection & Classification 시스템 개발 |
| 초록 | Abstract 최근 반도체/FPD 제조산업에서는 실시간으로 장비의 센서 데이터를 모니터링하고 분석함으로써 프로세스의 이상을 감지하고, 공정 결함의 근본 원인을 신속하게 분류하여 장비 활용을 극대화하기 위해 고성능의 실시간 이상 감지 시스템(FDC, Fault Detection & Classification)의 필요성이 강조되고 있다. 특히 시간 분할 ALD에서는 1 s 이내의 초정밀 Process가 도입됨에 따라 Mass Volume Process 간의 오차를 줄이고, 공정 Error 발생 즉시에 장비를 제어할 수 있는 정밀 감지 System 개발이 중요한 사항이다. 본 연구에서는 증착 공정 중 발생하는 신호들을 2 ms 이하의 단위로 관리 가능하도록 Monitoring System (FCMS)을 개발함으로써 반도체 생산 과정에 성공적으로 적용한 사례를 보여 준다. 본 System을 구현하기 위해 각 Chamber별로 Monitoring한 제어 데이터들을 저장 수 있는 데이터 저장 장치를 두었고 System 제어장치와 연동하여 생산 라인에 구축된 FDC와 연동이 가능하게 했다. 또한, 각 데이터들을 ALD 장비 내에 저장할 수 있도록 함으로써 공정 중 발생하는 무한의 데이터를 따로 저장할 수 있도록 하여 데이터 저장 공간 확보 문제도 동시에 해결했다. |
| 저자 | 임성호, 강재희, 정필영, 이용준, 박영훈, 전진호 |
| 소속 | 원익IPS |
| 키워드 | <P>반도체장비; FDC; ALD monitoring system; FCMS</P> |
