화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2002년 가을 (10/24 ~ 10/26, 서울대학교)
권호 8권 2호, p.4806
발표분야 재료
제목 HFCVD법에 의해서 성장된 나노결정의 다이아몬드박막의 morphology상에서의 아르곤 효과
초록 The properties of diamond viz. hardness, strength, chemical inertness, transparency, and low coefficient of friction, have led to the increasing interest in the growth of diamond films[1] using various advanced methods. The success in gorwing good quality diamond using CVD method lies in various enhancing techniques.
저자 서형기, Ansari.S.G, 트란란안, 김길성, 신형식
소속 전북대
키워드 Ar; Diamond; XPS
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