| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1999년 봄 (04/23 ~ 04/24, 성균관대학교) |
| 권호 | 5권 1호, p.1421 |
| 발표분야 | 에너지/환경 |
| 제목 | 졸-젤 공정에 의한 유기/무기 복합막 제조 |
| 초록 | 본 연구에서는 tetraethoxysilane과 methyltrimethoxysilane을 사용하여 wafer와 quartz의 표면에 유기/무기 복합막을 형성하고, 그 특성을 조사하였다. FTIR 결과로부터 유기/무기 복합막이 형성되었음을 관찰할 수 있었다. 이러한 유기/무기 복합막은 화학 센서, 분리막, 박막 장치 제조등에 응용될 수 있다. |
| 저자 | 이병환, 이종협 |
| 소속 | 서울대 |
| 키워드 | Hybrid thin film; Sol-gel process |
| 원문파일 | 초록 보기 |
