화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2008년 봄 (05/22 ~ 05/23, 상록리조트)
권호 14권 1호
발표분야 에너지환경/생체재료
제목 2 step texturing을 이용한 결정질 실리콘 태양전지의 표면 구조 개선에 관한 연구
초록 고효율 실리콘 태양전지에서 texturing기술은 photon trapping에 의해 광학적 손실을 줄임으로써 단락전류를 증가시켜 효율의 향상에 기여하는 중요한 요소기술 중 하나이다. 일반적으로 결정질 실리콘의 texturing으로는 KOH와 같은 알칼리(alkali) 용매를 사용한 이방성 식각으로 실리콘 표면에 평균크기가 10μm인 random 피라미드를 형성한다. 본 연구에서는 먼저 불산(HF)과 질산(HNO3), 아세트산(CH3COOH)의 혼합 용매를 사용하여 기판 식각 후 이방성 식각을 행하는 2 step의 texturing을 진행하여 조밀하고 균일한 피라미드로 표면구조를 개선함으로써 보다 효율적인 antireflection효과를 얻었다. 실험 결과 평균 4~5μm의 작고 균일한 사이즈의 피라미드를 형성하였고 반응메커니즘의 분석과 더불어 기존 random 피라미드와의 비교를 위해 scanning electron microscopy와 atomic force microscopy로 식각표면 형상을 관찰하고 UV spectroscopy를 통해 반사도를 측정하였다.
저자 박하영1, 이준성1, 권순우2, 임희진1, 윤세왕2, 김동환1
소속 1고려대, 2대한제당 중앙(연)
키워드 texturing; silicon solar cell; etching
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