화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2011년 가을 (10/27 ~ 10/29, 신라대학교)
권호 17권 2호
발표분야 F. Display and optic Materials and processing(디스플레이 및 광재료)
제목 다층박막 flexible 전극기판의 방사선 검출기 적용가능성 평가
초록 오늘날  X-ray 진단영역에서 기존의 Film방식을 대체하는 DR(Digital Radiography)분야의 다방면에서 연구가 활발히 진행되어지고 있으나, 현재의 디지털방사선 검출기의 경우, 인체의 기하학적 구조에 의한 영상이 왜곡되는 문제점이 있다.
본 연구에서는 현재 디스플레이 분야에서 다양하게 사용되어지는 flexible 전극기판을 DR에 접목하여 flexible 전극기판의 적용가능성을 평가 하고자 한다.
다층 박막 형성이 가능한 Roll-to-Roll 스퍼터링 증착시스템을 사용하여 제작된 ITO flexible 전극기판과 Ag/Mo flexible 전극기판 그리고 Ni/Cu flexible 전극기판을 비저항 및 전도성을 비교측정 평가 한 후, 하부전극기판으로 사용하여 X-ray필름을 제작하였다. 파우더 형태의 HgI2(Mercuric Iodide)를 스크린 프린팅 방식을 사용하여 광도전체층을 제작 하였으며 전압인가를 위한 상부전극으로는 스퍼터링 방식을 사용하여 ITO를 증착 하였다. 진단 방사선 범위의 X-ray를 조사시켜 광도전체 층에서 발생된 전자·전공쌍에 의한 전기적 특성의 평가하기 위하여 Sensitivity와 Dark current를 측정하였다.  
측정결과 Sensitivity에서는 기존의 ITO glass가 flexible 전극기판보다 높은 결과 값을 나타내었으나, 반면 Dark current는 flexible 전극기판이 급격하게 감소되어 SNR에서는 flexible 기판의 성능이 우수한 것으로 확인되었다.  
본 연구를 통하여 제작된 flexible 전극기판이 기존의 ITO glass 전극을 대체할만한 충분한 성능을 가지는 것을 검증하였다.
저자 김대국1, 오경민1, 김지나1, 김진선1, 이규홍2, 허승욱2, 남상희1
소속 1인제대, 2(재)김해의생명센터
키워드 flexible 전극기판; 광도전체; DR
E-Mail