학회 | 한국재료학회 |
학술대회 | 2018년 봄 (05/16 ~ 05/18, 삼척 쏠비치 호텔&리조트) |
권호 | 24권 1호 |
발표분야 | E. 환경/센서 재료 분과 |
제목 | Improvement of NO2 sensing capability in p-type TeO2 nanowire-based sesnors by formation of discrete n-type ZnO nanoclusters |
초록 | 최근 저차원 구조의 물질 중 서로 상이한 물질로 형성된 이중구조, 즉 헤테로구조는 2가지 이상의 특성을 서로 조합하여 하이브리드화된 특성을 발현할 수 있어 다양한 응용분야에서 많은 연구자들에 의해 활발한 연구가 진행되고 있다. 특히 여러가지 저차원 나노재료를 이용하여 합성한 나노복합체와 특별하게 제작된 나노구조체를 활용한 반도체 가스 센서 분야에 대한 연구가 매우 활발하다. 본 연구에서는 비교적 간단한 나노재료 합성 방법 중 하나인 기상증착법을 이용하여 p-형 TeO2 나노선을 합성하였고, 원자층증착법(atomic layer deposition, ALD)을 이용하여 다양한 형상을 가지는 n-형 ZnO 나노클러스트 층을 p-형 TeO2 표면에 형성시켰다. 순수한 p-TeO2 나노선 센서와의 감응특성 비교를 통해 n-ZnO 나노클러스트의 형성이 p-TeO2 나노선 센서의 NO2 가스 감응특성(감도, 선택성, 장기안정성, 습도 영향 등)에 미치는 영향을 조사하였다. |
저자 | 진창현1, 박수영2, 나한길3, 최선우4 |
소속 | 1인하대, 2극동대, 3한양대, 4강원대 |
키워드 | <P><EM>p</EM>-형 TeO<SUB>2</SUB> nanowire; <EM>n</EM>-형 ZnO nanoclusters; NO<SUB>2</SUB> sensing; sensing mechanism </P> |