| 초록 |
투명전도성 산화물(Transparent Conducting Oxide : TCO) 박막 재료는 LCD, PDP 등의 FPD 기반의 정보표시용 소자와, touch panel 등과 같은 정보처리의 시각화를 위한 소자, 그리고 photovoltaic cell, smart window와 같은 에너지 생산 및 절감을 위한 기술과 같이 빛의 투과와 전기적인 전도성이 필요한 모든 기술에 필수불가결하게 사용되는 핵심소재이다. 투명 전도막은 광학적 밴드갭이 3.5eV 이상인 wide-gap 반도체로서, 산화인듐(In2O3)에 주석(Sn), 아연(Zn) 등을 치환고용 시킨 ITO, IZO, 산화아연(ZnO)에 Al 혹은 Ga을 치환고용 시킨 AZO, GZO 등 다양한 재료가 있으며 진공 상태에서 플라즈마 응용 기술을 활용하여 박막화시켜 사용되고 있다. 최근에는 롤투롤 코팅법을 이용하여 Flexible 기판에 100℃이하의 저온 코팅 공정 조건에서 우수한 비저항( 2x10-4 Ω․cm)을 나타낼 수 있는 TCO 코팅 공정 기술이 활발히 개발되고 있으며 이러한 개발 결과는 차세대 디스플레이 소자로 예측되고 있는 Flexible 디스플레이 소자의 투명 전극 재료로 활용될 수 있을 것으로 기대된다. |
