화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2011년 봄 (05/26 ~ 05/27, 제주 휘닉스 아일랜드)
권호 17권 1호
발표분야 제 20회 신소재 심포지엄-CMPS Symposium
제목 고분자, 탄소나노튜브, 그래핀의 분자조립을 이용한 저비용, 대면적 나노제작기술
초록 본 발표에서는 고분자나 탄소나노튜브, 그래핀등 탄소소재의 분자배열을 다양한 형태로 조절할 수있는 분자조립 공정을 통해 비교적 저비용으로 대면적에서 나노구조체를 제작할 수 있는 다양한 기술들을 소개할 것이다. 특히 블록공중합체의 분자조립현상을 기존에 반도체나 디스플레이에 쓰이고 있는 ArF 리소그라피나 I-line 리소그라피와 융합하여 대면적에서 분자조립 나노패턴을 제작할 수 있는 기술들을 소개할 것이다. 또한 탄소나노튜브와 그래핀등 탄소소재를 용액공정이나 촉매나노패턴공정을 통해 3차원적인 다양한 형태로 조직화하는 신기술들도 소개할 것이다.
저자 김상욱
소속 KAIST
키워드 연성소재; 분자조립; 나노공정
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