| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2015년 봄 (05/14 ~ 05/15, 구미코) |
| 권호 | 21권 1호 |
| 발표분야 | A. 전자/반도체 재료 |
| 제목 | 반도체의 Post 20nm시대에 필요한 Silicon기판 기술의 방향 |
| 초록 | 인류 기술 문명의 근간을 이루고 있는 반도체는 지난 60년간 Moore's Law라고 불려지는 기술 혁신의 가이드라인을 지키기 위하여 부단히 노력하여왔다. 그 결과 정보화 시대를 넘어 모바일 시대에 접어들면서 다양한 기기와 기능들을 이용하여 생활의 편의와 의사결정의 속도를 향상시길 수 있게되었다. 하지만, 이러한 기술적 혁신의 결과, 앞으로의 반도체 기술의 혁신을 위해서는 반도체 설계기술 뿐만 아니라 반도체 재료의 혁신이 필수 불가결하다. 반도체 제품의 근간이 되는 Silicon기판에서도 지금까지 부단한 혁신이 이루어졌지만, Post 20nm technology를 가능하게 만들기 위해서는 Silicon기판의 '혁신적인 혁신'이 이루어져야 함을 조망해 보고자 함. |
| 저자 | 변영삼 |
| 소속 | 엘지 실트론 |
| 키워드 | 반도체; Moore's Law; Silicon; Silicon기판; post 20nm |
