| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2016년 가을 (11/16 ~ 11/18, 경주 현대호텔) |
| 권호 |
22권 2호 |
| 발표분야 |
A. 전자/반도체 재료 분과 |
| 제목 |
Nickel Oxide Nanocluster Growth by Selective Atomic Layer Deposition |
| 초록 |
최근 다양한 분야에서 나노 소재들이 활용되어지고 있으며 그 중요성이 점차 커지고 있다. 나아가 이를 위한 나노 소재들의 정밀한 합성 및 성장 연구에 대한 관심이 크게 증대되고 있다. 본 연구에서는 ALD (atomic layer deposition)를 활용한 나노 입자 합성 및 성장법에 대해 소개하고자 한다. 일반적으로 ALD는 자기 제한적 반응 (self-limiting reaction)을 통해 원자 수준에서 성장을 제어하는 것이 가능하다. 구체적으로 성장을 위한 반응은 수산기 (-OH)와 같은 화학적으로 반응성을 갖는 작용기에서만 진행된다. 이러한 ALD의 특성을 활용하여, 본 발표에서 구체적으로 성장 반응의 시작점 (-OH 작용기)을 조절함으로써 균일하게 분산되어 있는 NiO 나노 입자를 얻을 수 있는 성장법에 대해 소개하고자 한다. |
| 저자 |
김동욱 |
| 소속 |
명지대 |
| 키워드 |
Atomic layer deposition; nanocluster; synthesis; growth
|
| E-Mail |
|
