| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2021년 가을 (11/24 ~ 11/26, 경주 라한호텔) |
| 권호 | 27권 2호 |
| 발표분야 | A. 전자/반도체 재료 분과 |
| 제목 | 산화물 반도체: 그 응용의 확장 |
| 초록 | 산화물 반도체가 대면적에서 350 도 이하의 공정으로써 비정질 H:Si 보다 우수한 특성의 박막 트랜지스터 특성을 보여 줄 수 있음이 검증 된 이후, 대/중/소형의 대부분의 디스플레이의 구동 소자로 사용하고자 많은 연구가 진행되었다. 낮은 off current, 상대적으로 높은 이동도, 대면적화의 용이성은 이제 산화물 반도체의 적용이 디스플레이를 너머 센서, 다이오드 등으로 확장되고 있다. 이에, 산화물 반도체가 사이즈에 무관하게 대부분의 모든 디스플레이에 어떻게 적용이 가능한지, 그 외의 적용 분야는 어떤 것이 있는지 소개한다. |
| 저자 | 박상희 |
| 소속 | 한국과학기술원 |
| 키워드 | 산화물 반도체; 박막트랜지스터; 디스플레이; 센서 |
