| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2020년 가을 (11/18 ~ 11/20, 휘닉스 제주 섭지코지) |
| 권호 |
26권 1호 |
| 발표분야 |
C. 에너지 재료 분과 |
| 제목 |
스퍼터링 법으로 증착된 황화카드뮴(CdS) 박막의 물성에 대한 기판 온도의 영향 |
| 초록 |
RF(radio frequency) 마그네트론 스퍼터링(magnetron sputtering) 방법으로 황화카드뮴(cadmium sulfide, CdS) 박막을 유리 기판 위에 증착하였다. 서로 다른 기판 온도에서 증착된 CdS 박막에 대한 결정학적 특성과 미세표면 형상을 X-선 회절(X-ray diffraction, XRD) 및 전계 방출형 주사전자현미경(field emission scanning electron microscopy, FE-SEM)으로 조사하였다. CdS 박막의 화학적 조성과 광학적 특성 변화를 에너지 분산 X-선 분광법(energy dispersive X-ray spectroscopy, EDS) 및 가시광선 분광 광도계(UV-Vis spectrophotometer)로 관찰하였다. XRD 분석으로 다양한 기판 온도 조건에서 성장시킨 모든 CdS 박막에서 육방형 섬유아연석(hexagonal wurtzite) 상(phase) 및 입방(cubic) 상이 혼합된 다결정 구조(poly-crystal structure)로 구성되었음을 확인하였다. 기판 온도가 상승함에 따라 CdS 박막에 대한 가시광 영역(visible range)에서의 평균 투과율(transmittance)은 향상되었고, 광학 밴드 갭(optical band gap)은 넓어지는 경향을 나타내었다. |
| 저자 |
정재용1, 이상운2, 남기원1, 손창식1, 황동현1
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| 소속 |
1신라대, 2부산대 |
| 키워드 |
Cadmium sulfide; CdS thin film; buffer layer; RF magnetron sputtering; Solar cell
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| E-Mail |
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