| 학회 |
한국고분자학회 |
| 학술대회 |
2019년 봄 (04/10 ~ 04/12, 부산컨벤션센터(BEXCO)) |
| 권호 |
44권 1호 |
| 발표분야 |
기능성 고분자 |
| 제목 |
고불소화 단분자 포토레지스트 및 고불소화 바인더의 개발과 고불소계 용제를 이용한 포지티브형의 패턴 제작 |
| 초록 |
자외선에 반응하여 화학 구조가 변화하는 물질인 Diazonaphthoquinone (DNQ) 단위를 포함하는 물질과 불소 사슬을 사용하여 phloroglucinol을 core로 하는 고불소화 단분자 포토레지스트 물질을 합성하였다. 합성한 물질은 불소 사슬을 포함하고 있기 때문에 고불소계 용제에 용해성을 가지며 포토리소그래피 공정을 통해 패턴의 형성이 가능하다. 포토레지스트의 DNQ 단위는 365 nm 파장의 자외선에 조사될 시 화학 구조의 변화로 인해 ketene을 형성하게 되며, Dimerization을 통해 분자간 결합을 형성하게 된다. 이로 인해 노광 부위의 용해도가 감소하여 네거티브형 포토레지스트 패턴을 형성한다. 고불소계 고분자를 binder로 사용하여 포토레지스트 물질과 함께 포토리소그래피 공정을 진행하게 될 경우에는, 고분자 binder가 ketene의 dimerization을 억제하기 때문에 노광 부위의 용해도가 증가하게 되어 포지티브형 포토레지스트 패턴의 형성된다. |
| 저자 |
원종인, 이진균
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| 소속 |
인하대 |
| 키워드 |
고불소계; 포토레지스트; 바인더; DNQ; 고분자
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