| 초록 |
FeCl3가 도입된 블록공중합체 마이셀 단층박막과 산소 플라즈마 에칭을 이용하여 자성 산화철 나노패턴을 형성시켰다. 마이셀의 코어 내에 FeCl3가 선택적으로 coordinate된 PS-b-PVP 마이셀 단층박막은 톨루엔 용액으로부터 실리콘 기질 위에 간단한 스핀코팅법을 통해서 제조되었다. 마이셀 단층박막은 pseudo-hexagonal 배열을 가지고 있으며, 산소 플라즈마 에칭을 통하여 모든 고분자 부분은 제거되고, 마이셀 코어에 존재하던 FeCl3는 산화시켜, 나노미터 크기의 산화철로 이루어진 나노패턴을 형성시켰다. 또한, FeCl3가 도입된 마이셀 단층박막을 에탄올로 처리하여 코어-코로나 역전된 박막을 제조한 후, 동일한 조건으로 에칭을 하여 상이 역전된 자성 나노패턴을 형성시켰다. 즉, 마이셀 단층박막을 이용하여 서로 다른 형태의 산화철 나노패턴을 플라즈마 에칭으로 형성시킬 수 있었다. 형성된 나노패턴의 구조는 TEM, FE-SEM, AFM을 통하여 분석하였고, 자성 특성은 AGM을 이용해서 분석하였다. |
