| 초록 |
질화알루미늄 초미립자를 합성하기 위한 열플라즈마 공정을 개발하였다. 적정한 반응계를 선정하기 위하여 다양한 반응계에 대하여 열역학적 화학평형조성 계산을 수행하였다. 초미립자 합성장치는 graphite를 사용하여 hot wall 반응기와 cold wall 반응기로 구성하였고, 실험결과는 XRD, SEM, Particle size analyzer, FTIR 등으로부터 고찰하였다. cold wall 반응기에서 합성된 분말은 XRD로부터 broad한 피크로 관찰되었고, FTIR 스펙트라에 의해 비정질 알루미늄으로 관찰되어졌다. hot wall 반응기에서 합성된 분말은 질화알루미늄 결정으로 얻어졌다. 합성된 질화알루미늄의 전환율을 중가시키기 위하여 암모니아를 주입시켰다. 고온영역에서 암모니아를 주입시키는 경우 전환율에 뚜렷한 변화가 없었지만, 저온영역에서 암모니아를 주입시키는 것에 의해 전환율이 급격하게 향상되는 것이 관ㅊ되었다. 합성된 분말의 입도분포는 150nm∼350nm 범위로 고르게 분포되었다.
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