| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2010년 봄 (05/13 ~ 05/14, 삼척 팰리스 호텔) |
| 권호 |
16권 1호 |
| 발표분야 |
E. Frontiers of Materials Research(선도 재료연구) |
| 제목 |
혼합조성에 따른 (SiO2)x-(Ti)y 금속-유전체 박막의 적외선 열복사 감지 특성 |
| 초록 |
비냉각형 적외선 이미지 센서는 적외선 영역의 광자에너지를 흡수할 수 있는 흡수층 물질이 중요하며, 이러한 물질은 온도변화에 따른 저항의 변화가 크고 전기전도도가 높아야만 한다. 따라서 비냉각형 적외선 이미지 센서를 위한 열흡수층은 높은 열저항계수, 높은 전기전도도, 광대역 IR흡수 특성을 가지는 것이 중요하다. 본 연구에서는 thermal evaporator를 사용하여 silicon, germanium, glass 기판 위에 다양한 혼합비율을 갖는 증착 원료로부터 금속-유전체 (SiO2)x-(Ti)y 박막을 증착하였다. 형성된 막은 298 ~ 333K 온도영역에서 I-V Curve 특성을 측정 하였으며, 8 ~ 12 um 적외선 스펙트럼 영역에서 FT-IR 분광기를 이용하여 흡수특성을 관찰하였다. 또한 SiO2와 Ti 증착 원료의 다양한 혼합비율(9:1, 8:2, 7:3, 6:4)에 따라 형성된 막과의 조성변화 상관관계를 확인하기 위해 증착된 막의 성분 및 표면형상을 XPS, SEM을 이용하여 관찰하였다. |
| 저자 |
김예나1, 권순우2, 송요승1, 윤대호2, 이한영3, 양우석3
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| 소속 |
1한국항공대, 2성균관대, 3전자부품(연) |
| 키워드 |
금속-유전체 박막; 적외선 이미지 센서; TCR
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| E-Mail |
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