| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2006년 가을 (11/10 ~ 11/11, 경희대학교(수원캠퍼스)) |
| 권호 | 10권 2호 |
| 발표분야 | 고분자 |
| 제목 | Electrical and optical properties of IZO(indium zinc oxide) films deposited on PNB(polynorbornene) substrate |
| 초록 | TCO(transparent conducting oxide)박막은 평판 디스플레이 산업에 널리 사용되고 있다. 현재 널리 사용되고 있는 ITO박막은 낮은 비저항과 높은 투과율을 가지려면 300℃이상에서 증착되어야 한다. 본 실험에서는 ITO에 비해 낮은 온도에서도 낮은 비저항과 높은 투과율을 가지는 IZO박막을 전자빔 증착법을 사용하여 PNB기판(Tg=330℃)위에 증착하였다. 본 연구에서는 2Å/sec의 증착속도에서 기판온도, 산소유입속도(2,4,6,8,10sccm)를 변화시키면서 실험을 하였으며, 증착된 IZO박막의 전기 및 광학적 특성을 알아보았다. 그 결과 4sccm의 O2, 150℃의 기판온도 및 1000Å으로 증착된 IZO박막 두께에서 전기ㆍ광학적 성질인 5.432×10-3 Ωㆍcm 비저항 및 81% 광투과율을 얻을 수 있었다. |
| 저자 | 박성환, 황기섭, 김동수, 김광표, 하기룡 |
| 소속 | 계명대 |
| 키워드 | IZO; PNB; E-beam deposition |
