| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2001년 봄 (04/27 ~ 04/28, 연세대학교) |
| 권호 | 7권 1호, p.561 |
| 발표분야 | 공정시스템 |
| 제목 | 분할 GA를 이용한 재진입 공정의 단기 생산일정계획 |
| 초록 | 소비자의 욕구가 다양해지고 있는 최근에는 continuous process 보다는 batch process 가 연구 과제로 떠오르고 있다. 또 무한 경쟁의 시대에 경쟁력 제고에 필수적인 batch process의 최적의 공정 순서를 설정하는 단기일정계획수립은 매우 중요하고, 최근 들어 화공 산업에서도 이러한 연구가 활발히 진행 중이며 많은 연구 결과들이 발표되고 있다. 그러나 갈수록 복잡해져 가는 공정에 대한 단기일정계획 수립은 그 규모가 매우 커서 현대의 컴퓨터로도 수학적 계산만으로는 불가능한 현실이다. 따라서 일정계획수립을 위한 다양한 방법들이 개발되고 있다. 최근 들어 반도체공정의 위시한 몇몇 공정들에서 재진입흐름(Reentrant process flow)이 나타나고 있는데, 이는 엄밀히 말해서 기존의 batch process의 분류 기준인 multi-product 와 multi-purpose 공정 어느것에도 속하지 않는다. multi-purpose 공정과 같은 복잡한 계산 과정을 요구하므로 수학적 모델링의 결과가 저조하다. 이를 진화적 탐색 방법인 GA(genetic algorithm)로 구현하는 데에 있어서 가장 중요한 것은 unit gene의 구성에 있어서 infeasible sequence를 걸러내어 탐색의 효율을 높이는 것이다. 반도체 제조 공정의 경우 재진입 공정이 포함된 multi-purpose 공정으로 더욱 복잡한 공정이며 infeasible sequence가 feasible sequence에 비해서 월등히 많기 때문이다. 본 논문에서는 GA를 이용하여 재진입 공정이 포함된 multi-purpose의 공정 순서를 결정하는 연구를 하였다. 탐색방법의 효율성 증대를 위해 기존의 GA를 변형한 분할 GA모델을 제안하였다. 이 모델에 대해 예제에 적용해 보고 기존의 방법과 비교해 봄으로써 본 연구의 우수성을 평가하는 작업을 하였다. 프로그램 코딩은 Turbo C 3.0 을 이용하였다. |
| 저자 | 정사무엘, 김관영, 이인범 |
| 소속 | 포항공과대 |
| 키워드 | scheduling; semiconductor; reentrant; genetic algorithm |
| 원문파일 | 초록 보기 |
