| 초록 |
AZO 투명도전막을 증착 속도가 빠르고, 대면적 증착이 가능하며, 층덮힘이 우수한 특성을 가지는 DLI-CVD(Direct-liquid injection chemical vapor deposition)공정을 이용하여 증착하였다.본 연구에서는 DEZ(diethylzinc), TMA(trimethylaluminum) 유기금속 전구체를 단일 용매에 녹여 주입해 기존의 PVD나 CVD법에 비해 첨가물(dopant)의 도입량의 제어를 용이하게 하고 증착 온도, 산소량, 주입한 알루미늄과 아연 전구체의 비율을 조절하여 최적화함으로서 10-3Ωcm의 비저항 특성과 가시광선 영역에서 80%이상의 우수한 광학적 특성을 지니는 AZO 박막을 증착하였다. 먼저, 50sccm, 100sccm, 150sccm, 200sccm로 산소의 유량을 조절함으로서 나타나는 박막의 특성을 분석하였고, 또한 증착 온도를 250℃, 300℃, 350℃, 400℃로 변화시킴으로써 증착 온도의 영향을 확인하였다. 이때 박막의 비저항을 측정하기 위해 4-point probe 방법을 이용하고 광학적인 특성을 분석하기 위해 UV-Vis spectrometry 방법을 이용하였다. 또한 박막의 두께와 표면 상태등을 확인하기 위해 SEM과 AFM분석법을 이용하였다. 마지막으로 주입하는 DEZ:TMA의 비율을 1:0.1, 0.2, 0.3, 0.4로서 조절함으로써 나타나는 첨가물의 영향을 확인하였다. 이때 박막내의 첨가물 분석을 위해 XPS, ICP-AES의 방법을 이용하고 박막의 결정성을 XRD, AFM 방법을 통해 확인하였다. |
