| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2013년 봄 (05/23 ~ 05/24, 여수 엠블호텔(THE MVL)) |
| 권호 | 19권 1호 |
| 발표분야 | F. 광기능/디스플레이 재료(Optical Functional and Display Materials) |
| 제목 | 용액공정을 이용한 금속산화물 TFT제작과 SAMs 처리를 이용한 소자의 개선 |
| 초록 | 금속산화물을 기반으로 하는 트랜지스터는 높은 전자이동도와 뛰어난 소자안정성을 가지고 있어, 투명소자를 만드는데 적합한 차세대 소자로 주목을 받고 있다. 근래에는 용액공정을 이용하여 금속산화물을 만드는 Sol-gel법으로 고진공장비를 배제한 박막공정이 가능하다. 그에 따라 경제성을 부각시키고, 금속산화물반도체의 효용성을 높이고 있는 추세이다. 본 연구는 대표적인 금속산화물인 In2O3을 Sol-gel법을 이용하여 제조하는 것에 기반을 두었다. 이 때 공정온도를 낮추고 금속산화물의 이동도를 증가시키기 위한 방법 중 하나로 반도체와 절연체의 계면에 Self assembled monolayer(SAMs)처리를 하는 것을 고안했다, 우리는 SAMs가 트랜지스터 내에서 전자이동도에 어떤 영향을 주는지 I-V curve를 측정하여 분석해 보았다. |
| 저자 | 박진우, 이미정*, 황재원, 조용진 |
| 소속 | 국민대 |
| 키워드 | 금속산화물; sol-gel공정; 투명소자 |
