| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2013년 가을 (11/06 ~ 11/08, 제주롯데호텔) |
| 권호 |
19권 2호 |
| 발표분야 |
C. 에너지/환경 재료(Energy and Environmental Materials) |
| 제목 |
Laser scribing 기법을 이용한 크랙 없는 단결정 실리콘 박막의 박리 기술 연구 |
| 초록 |
본 연구에서는 Laser를 이용하여 생성시킨 일정 깊이의 pre-crack(일명 Laser scribing)이 고품질 실리콘 박막이 박리될 때 어떤 영향을 미치는지를 알아보기 위해 실험을 진행하였다. 본 실험은 크랙 없는 고품질 박막을 얻기 위한 최적의 조건을 찾기 위해 다양한 실험을 진행하였다. 이번 실험에서는 NiCl solution을 사용하여 상온에서 스트레스 도금 층을 웨이퍼 위에 증착하는 방법으로 실리콘 박막을 박리시켰다. 또한, laser의 pulse duration, pulse power 그리고 pulse frequency를 조작하여 다양한 깊이와 모양의 pre-crack을 생성시켜 실리콘 박막이 박리 될 때 미치는 영향을 살펴보고 분석하였다. 이렇게 박리된 박막은 광학현미경과 Fe-SEM를 통해 박막의 두께와 크랙의 유무를 관찰하였다. |
| 저자 |
유성국1, 양창열2, 권영임1, 유봉영2
|
| 소속 |
1한양대, 2나노태양광에너지공학과 |
| 키워드 |
laser scribing; 실리콘 박막 분리
|
| E-Mail |
|
