| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2004년 가을 (11/05 ~ 11/05, 인하대학교) |
| 권호 | 10권 2호 |
| 발표분야 | Sensor |
| 제목 | Thermal Evaporationqjqdm로 제조된 NiO/WO3 박막의 특성 |
| 초록 | 실리콘 기한위에 증착시킨 NiO-WO3 박막의 미세구조와 NOx 센싱 특성을 연구 하겠다. (100)방향성을 갖는 p형 실리콘 단결정위에 E-beam evaporation법으로 Al2O3을 증착시켜 절연막을 형성시켰다. Al2O3/Si 기판위에 WO3 증착막의 두께를 변화시키면서 Thermal Evaporation법으로NiO-WO3박막을 증착하였다. 열처리 후 박막의 결정성 및 결정구조를 분석하기 위해 X-선 회절분석기(XRD)를 사용하였고, 주사전자현미경(FE-SEM)을 이용하여 미세구조를 관찰하였다. NiO/WO3 박막과 WO3 박막에 대하여 NOx 가스에 대한 감도를 측정 하였다. WO3 박막의 경우 두께가 증가함에 따라 일정한 크기의 결정립성장을 나타냈고, NiO가 첨가된 NiO/WO3 박막은 WO3박막과 비교하여 결정크기가 감소하였다. NiO가 첨가됨으로써 WO3박막의 결정성장 억제가 나타났으며, NOx 가스에 대한 감도도 WO3박막보다 우수하였다. |
| 저자 | 박진성, 나동명 |
| 소속 | 조선대 |
| 키워드 | Thin films; Thermal evaporation |
