| 초록 |
탄화규소는 열적, 화학적, 기계적으로 안정한 특성을 가지고 있어, 고온 구조용 또는 연마용 재료로 광범위하게 사용되고 있다. 대부분의 탄화규소는 고온의 전극을 사용하는 에치슨법을 사용하여 제조되는데, 우리나라의 경우 전량 수입에 의존하고 있다. 반도체웨이퍼 제조과정중 실리콘 덩어리인 잉곳을 Wire saw를 이용하여 절단하는 공정에서는 절삭제로 사용되는 SiC 입자와 절삭유, 그리고 잉곳의 절단에 의해 발생되는 실리콘 분말이 함유된 폐기물이 발생된다. 본 연구는 이러한 폐기물중에 포함된 절삭제와 절삭유를 회수하여 재사용하고, 남은 폐기물을 환경적으로 무해화하게 처리하기위한 공정개발의 일환으로 수행되었다. 본 연구에서는 폐기물중의 절삭제와 절삭유를 회수한 후 최종적으로 남은 실리콘 함유 폐슬러리를 카본과 혼합하여 SiC 로 합성하는 연구를 실시하였다. 합성을 위하여 2kg/회 용량의 합성로가 제작되었으며, 환원성분위기, 1500℃ 조건에서 1시간동안 반응시킨후 합성품의 물성을 평가하였다. |
