| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2019년 봄 (05/15 ~ 05/17, 평창 알펜시아 리조트) |
| 권호 |
25권 1호 |
| 발표분야 |
C. 에너지 재료 분과 |
| 제목 |
CuS 박막의 구조적, 광학적 및 전기적 특성에 대한 RF 파워의 영향 |
| 초록 |
CuS(Copper Sulfide) 박막을 RF 마그네트론 스퍼터링법(RF magnetron sputtering)으로 소다석회유리(soda lime glass) 기판에 성막하였고, 공정 변수인 RF 파워 변화(40~100W)에 대한 CuS 박막의 구조적, 광학적 및 전기적 특성을 연구하였다. CuS 박막의 구조적 특성은 X선-회절(XRD)과 라만(Raman) 측정법으로 분석하였고, 표면의 미세 결정립 형상과 박막의 두께 변화는 전계 방출 주사 전자 현미경(FESEM)으로 관찰하였다. CuS 박막의 광 투과율과 밴드 갭은 자외선-가시-근적외선(UV-Vis-NIR) 분광 광도계로 측정하였고, 전기적 특성은 4-point probe를 사용하여 알아보았다. RF 파워 변화에 따라 증착된 CuS 박막은 (110)면 우선 성장 배향성을 갖는 6방정계 결정구조임을 나타내었다. RF 파워가 40W에서 100W로 증가함에 따라 CuS 박막의 두께는 250 nm에서 750 nm로 증가하였고, 면저항은 3.6 Ω/□에서 1.4 Ω/□, 밴드 갭은 2.61 eV에서 2.36 eV로 감소하였다. |
| 저자 |
신동혁1, 김준아2, 박재홍2, 안태현2, 손창식2, 손영국1, 황동현2
|
| 소속 |
1부산대, 2신라대 |
| 키워드 |
CuS thin film; RF magnetron sputtering; RF power; solar cell
|
| E-Mail |
|
