| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2010년 봄 (05/13 ~ 05/14, 삼척 팰리스 호텔) |
| 권호 | 16권 1호 |
| 발표분야 | C. Energy and the Environment(에너지 및 환경재료) |
| 제목 | Ar/O2 혼합가스에 의한 AZO의 전기적 특성 변화 |
| 초록 | RF 마크네트론 스퍼트를 이용하여 유리 기판 위에 Al 도핑된 ZnO (AZO)를 증착하였다. Si 박막 태양전지용 투명전극으로 사용될 AZO의 전기적 특성을 향상시키기 위해서 Ar 가스와 Ar/O2 혼합가스의 유량비를 조절하여 증착하였다. 증착된 AZO의 전기적 특성은 반데포홀 방법으로 측정하였고, 구조적 특성은 XRD를 이용하여 측정하였다. 가스의 유량비에 따라 비저항 및 운반자농도의 의존성을 나타내고, 가스 유량비를 조절하여 태양전지용 투명전극의 전기적 특성의 최적화를 이룰 수 있다. |
| 저자 | 이승진, 박재형, 정영진, 손창식 |
| 소속 | 신라대 |
| 키워드 | ZnO; 스프터; 비저항 |
