화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2008년 가을 (10/23 ~ 10/24, 부산 BEXCO)
권호 14권 2호, p.3567
발표분야 촉매 및 반응공학
제목 Photocatalytic degradation of acetaldehyde on TiO2 thin films prepared by low temperature plasma process
초록 유리표면에TTIP(Titanium isopropoxide)를 전구체로 저온 플라스마 공정을 이용하여 플라스마 discharge power 와 flaw rate을 고정한 채 증착 시간을 2~4h로 변화시켜 TiO2박막을 증착하고, 그 후 4시간동안 200~500℃ 소성온도를 변화시켜 안정한 TiO2박막을 제조하였다. 그 후, 증착시간 및 소성온도에 따른 TiO2박막의 광분해활성은 acetaldehyde의 분해 실험을 통해 확인하였다.
제조된 TiO2 박막은 XRD를 이용하여 박막의 결정 구조를 관찰하였고, 표면의 성분 분석을 위해 EDX, SEM-mapping을 사용하였고, 분해 실험 결과는 GC-MS를 통해 분석하였다.
실험 결과, TiO2 박막의 광분해활성은 저온 플라스마 공정에서 증착시간이 증가할수록 광활성 또한 증가함을 확인할 수 있었다.
저자 김경석1, 송선정2, 조동련1, 김경환1, 임경택1
소속 1전남대, 2BK21 기능성 나노 신화학 소재 사업단
키워드 광촉매; TiO2; Photodegradation
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