| 학회 |
한국고분자학회 |
| 학술대회 |
2009년 가을 (10/08 ~ 10/09, 광주과학기술원 오룡관) |
| 권호 |
34권 2호 |
| 발표분야 |
기능성 고분자 |
| 제목 |
One-Dimensional Block Copolymer Assembly on Chemically Patterned Surfaces |
| 초록 |
블록공중합체의 주기와 일치하지 않는 주기를 가지는 화학적인 표면 패턴위에서 열처리를 통하여 간단히 라멜라형 블록공중합체의 일차원적인 나노구조를 제작할 수 있었다. 제작된 일차원적인 나노구조는 임계 너비까지 그 정렬을 유지하였고 곡률이 있는 표면 패턴을 따라 일차원적인 구조를 형성하였다. 라멜라형 블록공중합체가 일차원적인 구조를 형성하는 이유는 지역의 양단에서 라멜라 마이크로 도메인이 90° Scherk surface grain boundary를 이루어 그 경계효과로 인한 것이다. 이는 라멜라면의 연속성을 유지시키면서 서로 다른 블록의 경계면을 최소화함으로써 에너지적으로 안정한 경계면을 형성시킨 결과이다. 따라서 본 논문의 결과는 기존의 광식각공정의 한계를 직렬식 패턴제조공정인 전자선 리소그라피와 병렬식 공정인 블록공중합체 자기조립 현상의 융합기술을 통해 극복한 것이라 할 수 있다. |
| 저자 |
신동옥, 김봉훈, 강주형, 정성준, 박승학, 이용희, 김상욱
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| 소속 |
KAIST |
| 키워드 |
block copolymer; lithography; nanopatterning
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