| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2006년 가을 (11/03 ~ 11/03, 수원대학교) |
| 권호 | 12권 2호 |
| 발표분야 | 전자 재료 |
| 제목 | RF magnetron sputtering으로 증착한 Mo박막의 증착조건에 따른 Nacl 수용액에서의 부식거동 |
| 초록 | Abstract 현재 LCD 배선으로 많이 사용되는 Mo 박막은 그 부식거동에 대해 잘 알려져 있지 않으므로 이 연구를 통해 Mo 박막의 부식거동에 대해서 알아보았다. RF magnetron sputtering을 이용해서 Mo 박막을 Si wafer위에 증착하였고 증착시 Ar pressure (2~50mtorr), 온도 (상온~200℃), RF power (100~300W)를 변화시켰다. 각 증착조건에 따라 증착된 Mo 박막의 stress 또한 stress measurement를 이용해 측정해보았고 전기화확부식장비를 이용해 Nacl수용액에서의 부식률을 측정해 보았다. 증착조건에 따라 증착률이 변하므로 입자의 미세구조와 stress가 변하게 되며 이때 부식거동에 영향을 준다. 이 연구는 Mo 박막의 증착조건에 따른 미세구조, stress, 부식거동에 대해서 알아보았다. |
| 저자 | 서보현, 이상혁, 서종현 |
| 소속 | 한국항공대 |
| 키워드 | Mo 박막; corrosion; stress |
