| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2013년 가을 (10/30 ~ 11/01, 대전컨벤션센터) |
| 권호 | 17권 2호 |
| 발표분야 | 포스터-전기화학 |
| 제목 | PDMS 스탬프를 이용한 2um 이하의 균일한 패턴을 갖는 알루미늄 전해에칭 연구 |
| 초록 | 알루미늄은 높은 정전용량을 가지고 있어 소형 장치의 커패시터로써 적합하다. 최근에는 점차 고용량을 요구하는 추세에 따라 표면적 확대에 대한 연구가 많이 진행되어 왔다. 에치 피트의 정렬도를 높이는 방법으로 선행 연구에서는 PDMS를 스탬프로 이용하여 5um 내외의 균일한 에치 터널을 형성할 수 있음을 보였다. 본 연구에서는 선행연구에 이어서, 인쇄한 패턴의 내구성을 높임과 동시에 더 작은 에치 피트를 형성함으로써 보다 향상된 표면적을 획득하는 연구를 수행하였다. |
| 저자 | 유현석, 이준수, 탁용석, 최진섭 |
| 소속 | 인하대 |
| 키워드 | 에칭; 알루미늄; 리소그래피 |
