| 초록 |
유전 및 절연 재료는 전기전자 재료뿐 아니라 광전자 분야에 적용 가능한 재료로써 많은 연구가 되어 왔다. 일반적으로, 무기산화 유전/절연막은 많은 연구가 이루어 졌지만 공정의 복잡화로 인한 제조 비용의 증가로 제작의 많은 한계가 있다. 본 연구에서는 이러한 한계를 극복하고자 유-무기 하이브리드 재료의 연구를 진행하였다. 본 연구에서는 졸-겔 공정을 통해 콜로이달 타이타니아와 유기 실란을 이용하여 안정한 실리카-타이타니아 졸 제조 및 박막의 특성평가를 하였다. 제조된 졸은 Ti-O-Si의 화학적 결합 및 유기기와의 결합이 이루어짐을 확인하였고, 스핀 코팅을 통해 제조된 코팅막은 275℃까지의 우수한 열적 안정성, 90% 이상의 높은 투과도 및 1nm 이하의 우수한 표면조도를 확인할 수 있었다. 또한, 유기실란의 조성의 조절을 통해 멀티 코팅과 표면에너지의 조절을 가능하게 하였다. 결론으로, 본 연구를 통해 제조된 실리카-타이타니아 졸 및 박막의 우수한 물성을 확인하였고 이와 더불어 향후 유전율 및 굴절률과 같은 전기적, 광학적 물성연구를 통해 유기절연막 및 광학코팅 막으로서의 적용을 위한 연구를 진행할 계획이다. |
