화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2009년 가을 (11/05 ~ 11/06, 포항공과대학교)
권호 15권 2호
발표분야 E. Frontiers of Materials Research(선도 재료연구)
제목 (Sr1-x,Lax)TiO3 박막의 두께에 따른 전송특성 분석
초록 SrTiO3는 전형적인 페로브스카이트(ABO3) 산화물로서, 결함농도를 조절함으로써 다양한 전기적 성질을 변화시킬 수 있다. 그 중에서 (Sr1-x,Lax)TiO3 산화물은 La의 농도가 증가함에 따라서 절연체에서 전도체, 그리고 Mott 절연체로 변하는 특징을 가지고 있다. 본 연구는 이러한 (Sr1-x,Lax)TiO3 박막의 두께에 따라서 전송특성이 어떻게 변하는지를 분석하였다. 본 실험에서, (Sr1-x,Lax)TiO3 박막은 laser-molecular beam epitaxy (Laser-MBE) 방법을 이용하여 증착하였고, 이 때 박막의 두께를 50 unit cell에서 2 unit cell 까지 변화시켰다. Hall 효과 및 온도에 따른 비저항 측정을 이용하여 전송특성을 분석하였다. 그 결과, 50 unit cell 까지는 (Sr1-x,Lax)TiO3 의 bulk 와 유사한 전송특성을 가지지만, 그 이하의 두께에서는 비저항이 점차 증가하는 것을 확인하였다. 또한, 15 unit cell 이하의 두께에서부터는 절연체특성을 갖는 것을 확인하였다.
저자 최의영, 김기호, 윤종현, 이재찬
소속 성균관대
키워드 산화물반도체; MIT transition; 산화물박막
E-Mail