| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2010년 봄 (05/13 ~ 05/14, 삼척 팰리스 호텔) |
| 권호 | 16권 1호 |
| 발표분야 | G. Display (LCD, PDP, OLED) Materials(디스플레이 재료) |
| 제목 | 사파이어 기판 위에 스퍼터된 CrN 박막의 특성 Characterization of CrN Films on Sapphire Substrate |
| 초록 | 본 연구에서는 RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 C(0001)면의 사파이어 기판 위에 Cr을 증착시키고, NH3 분위기에서 열처리하여 CrN 박막을 형성하였다. NH3 가스의 유량은 300 sccm 일정하게 공급하면서 열처리 온도와 열처리 시간을 각각 300 ~ 600 ℃와 30 ~ 120 분의 범위에서 변화시켰다. 사파이어 기판 위에 형성된 CrN 박막의 특성을 XRD, SEM, AFM을 이용하여 구조적인 특성을 조사하였고, XPS를 이용하여 화학적 결합상태를 분석하였다. X선 회절 실험을 통해 사파이어 기판 위에 형성되는 CrN는 (111)면으로 우선 배향되는 단결정 상태로 성장되는 것을 알 수 있었다. 또한 Cr의 Cr2p core level의 결합에너지는 CrN (575.5 eV)와 금속 Cr (547.7)의 두 개 피크로 분리 되어졌으며, 중간 단계에서는 Cr2N의 결합상태를 나타내었다. |
| 저자 | 김준, 송창호, 변창섭, 김선태 |
| 소속 | 한밭대 |
| 키워드 | RF-sputtering; CrN; Chromium nitride; XPS |
