| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2004년 가을 (11/05 ~ 11/05, 인하대학교) |
| 권호 |
10권 2호 |
| 발표분야 |
금속 |
| 제목 |
TiZrV 비증발형 게터의 활성화에 관한 연구 |
| 초록 |
게터(Getter)란 화학적으로 활성화된 금속막에 의하여 기체가 흡착되는 작용을 이용하여 진공배기를 할 수 있는 물질을 말한다. 게터는 그 특성에 따라 증발형게터(Evaporable Getter)와 비증발형게터(NonEvaporable Getter)로 두 종류로 나뉜다. 증발형 게터는 고온의 활성화 공정(Activation process)을 통하여 게터 물질을 증발시켜서 불순기체를 제거하기 때문에 녹는점이 낮고, 쉽게 증발이 이루어지는 물질로 이루어져 있으며, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 진공유지에 가장 많이 이용되고 있다. 비증발형 게터는 증발형 게터가 사용되기 어려운 경우, 즉 증발된 게터로 인해 소자가 오염되는 경우나 활성화 공정 온도가 너무 높은 경우에 사용된다. 비증발형 게터는 증발형 게터와 같이 게터 자체를 증발시킬 필요가 없고, 특히 활성화 공정의 용이성 때문에 램프, 보온병, 진공챔버 등 응용범위가 넓어지고 있다. TiZrV 비증발형 벌크 게터를 제조하고 활성화온도를 측정할 수 있는 장치를 설계하여 활성화온도를 측정하였다. 아크용해를 하여 버튼모양의 잉고트를 제조하여 TiZrV 합금을 만들고 이를 수소화법(Hydride DeHydride process)을 이용하여 분말을 제조하였다. TiZrV 합금, Ballmilling한 TiZrV 합금 그리고 TiZrV 수소화물의 세종류로 각각 제조한 후 압축성형하여 TiZrV 비증발형 게터의 활성화온도를 측정하였다. |
| 저자 |
이동진1, 김광범1, 서창열2, 인상렬3, 임종연4, 김원백2
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| 소속 |
1연세대, 2한국지질자원(연), 3한국원자력(연), 4한국표준과학(연) |
| 키워드 |
TiZrV; 게터; HDH법; 활성화
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| E-Mail |
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