| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2013년 봄 (05/01 ~ 05/03, ICC JEJU) |
| 권호 | 17권 1호 |
| 발표분야 | 포스터-화학공정 |
| 제목 | 폐 포토레지스트 박리액으로부터 고가 성분 회수 및 활용 |
| 초록 | 최근 평판디스플레이의 대면적화, 저전력화, 슬림화에 따른 회선 설계 공정의 변경으로 인해 전극 패턴의 식각과 박리에 이용되는 박리액이 대량 사용됨에 따라 폐액도 다량 발생되고 있으나, 대부분 소각 처리되고 있다. 본 연구에서는 폐 박리액을 재활용하기 위해 고가 성분을 증류로 재생하여 그 물성을 분석하였다. 고가 용제중의 하나인 HEP의 경우 순도가 99.5%, 수분 함량은 0.07% 이하로 재사용이 가능함을 확인하였다. |
| 저자 | 김재경1, 김준우1, 이문용2, 박명준3, 이인규3, 구기갑1 |
| 소속 | 1서강대, 2영남대, 3(주)코렉스 |
| 키워드 | PR stripper; 증류; 재생 |
