| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2010년 봄 (05/13 ~ 05/14, 삼척 팰리스 호텔) |
| 권호 | 16권 1호 |
| 발표분야 | C. Energy and the Environment(에너지 및 환경재료) |
| 제목 | Furnace selenisation 공정으로 형성시킨 CuInSe2 박막의 연구 |
| 초록 | 태양전지 광 흡수층의 Ⅰ-Ⅲ-Ⅵ족 CuInSe2박막을 형성하기 위하여 Mo이 증착된 soda-lime glass기판에 co-sputter를 이용해 기판 온도를 200℃로 유지하며 Cu, In을 90분 동안 증착하고 furnace에서 selenisation 공정을 했다. Cu, In을 co-sputter로 증착시 두 타겟 모두 RF power를 사용했고 공정 압력은 0.05Pa로 유지했다. 또한 CuInSe2박막을 형성시키기 위해 furnace의 N2분위기에서 400℃에서 475℃까지 25℃ 간격으로 selenisation공정을 진행했다. CuInSe2 박막의 구조적, 전기적 특성은 XRD, FE-SEM, EDX, Hall measurement를 이용하여 분석하고 이 결과에 대하여 논의할 것이다. |
| 저자 | 이경훈1, 김진혁2, 정채환1, 이석호3, 김광복4, 고항주5 |
| 소속 | 1전남대, 2한국광기술원 광전소자연구센터, 3한국생산기술(연), 4목포대, 5금호전기(주) |
| 키워드 | CuInSe2(CIS); Selenisation; Co-sputter; Furnace; Absorber layer |
