| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2013년 봄 (05/23 ~ 05/24, 여수 엠블호텔(THE MVL)) |
| 권호 | 19권 1호 |
| 발표분야 | B. 나노재료(Nanomaterials) |
| 제목 | 친환경적 무전해 구리 도금 박막 성장에 관한 연구 |
| 초록 | 최근 전자제품, 정보통신기기의 간소화 추세로 초미세회로설계 기술이 구현되고 있다. 그로 인해 배선폭과 절연막 두께의 감소로 기존 배선 재료인 알루미늄의 사용은 소자의 속도 및 신뢰성 측면에서 매우 어렵다고 판단되고 있으며, 비저항이 낮은 구리를 배선재료로 대체하는 연구가 활발히 진행되고 있다. 그러나 구리의 무전해 도금은 일반적으로 포름알데히드를 환원제로 사용하여 강알칼리성 도금욕이 형성됨에 따라 화학적, 환경적인 여러 문제를 단점으로 보고 있다. 본 연구에서는 구리의 무전해 도금에서 사용되는 포름알데히드 대신 차아인산나트륨을 환원제로 사용하고, 도금욕의 농도를 중성에 가깝게 진행하여 환경적인 문제점을 보완하여 친환경적 무전해 구리 도금막의 성장을 시도하였다. 기판은 Cu foil 또는 Cu seed 기판을 사용하였다. 무전해 도금으로 성장된 구리 박막의 특성을 분석하기 위해 XRD(X-ray Diffraction), FE-SEM(Field Emission Scanning Electron Microscope), XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy) 등을 이용하여 박막의 특성을 분석하였다 |
| 저자 | 윤재식1, 조양래2, 김형철1, 나사균2, 이연승1 |
| 소속 | 1국립한밭대, 2정보통신공학과 |
| 키워드 | 무전해구리도금; 친환경; 차아인산나트륨; 중성 |
