| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2003년 가을 (10/24 ~ 10/25, 한양대학교) |
| 권호 | 9권 2호, p.2758 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 질화물 반도체 증착용 OMVPE반응기의 전산유체역학적 해석 |
| 초록 | 본 연구에서는 유체역학 전산프로그램인 CFD-ACE+를 이용하여 질화물반도체 증착용 OMVPE반응기의 증착공정을 전산모사를 통해 실험데이터와 비교, 분석하였다. 전산모사는 two-dimensional axisymmetric model을 이용하였다. 전산모사의 조건으로는 벽면의 온도, inlet gas의 속도, 벽면과 gas의 물성을 취하였다. 축방향 centerline의 온도 및 농도 분포는 rotational Raman spectra 분석에 의해 측정되었고, 이는 시뮬레이션에 의한 값과 잘 일치 하였다. 또한 Reactor안의 일부 recirculation flow를 확인할 수 있었다. |
| 저자 | 한승훈, 윤덕선, 여석기, 박진호 |
| 소속 | 영남대 |
| 키워드 | CFD;OMVPE;질화물반도체 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
