| 초록 |
Pentacene을 활성층으로, 공액고분자인 poly(3,4-ethylenedioxythiophene) (PEDOT)을 소스-드레인 및 게이트 전극으로, polyvinyle cinamate (PVCN)을 절연층으로 사용한 유기 박막 트랜지스터(OTFT)를 제작하였다. 전극은 스핀 코팅한 산화막에 photo-mask를 통해 UV를 조사하여 pattern을 만든 후 ethylenedioxythiopene (EDOT) 모노머에 노출시켜 PEDOT을 기산중합하였다. 절연층은 PVCN을 스핀코팅하였다. 게이트 전극, 절연층, 소스-드레인 전극을 모두 만든 후에 pentacene을 organic molecular beam deposition (OMBD) 방법으로 증착한 bottom 게이트 방식의 소자와 소스-드레인 전극만을 만든 후에 pentacene을 증착하고 그 위에 절연층과 게이트 전극을 만든 top 게이트 방식의 소자를 만들어 그 특성을 조사하였다. 게이트 전압 인가에 따른 소스와 드레인 사이의 전류를 측정하여 on/off ratio, trans-conductance, 이동도 등 소자의 특성을 발표한다. |
