| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2001년 봄 (04/27 ~ 04/28, 연세대학교) |
| 권호 | 7권 1호, p.2122 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 열 필리멘트 다이아몬드 화학증착법에서 flashing의 효과 |
| 초록 | 열 필라멘트 화학증착법으로 다이아몬드 제조시, flashing에 따른 다이아몬드의 변화를 관찰하였다. Si(100) 기판을 1200 K까지 온도를 올려 산화막을 제거한 결과를 먼저 AES(Auger electron spectroscopy)를 통한 flashing의 유무를 확인하였고, XPS(X-ray photoelectron spectroscopy)를 통한 증착 결과를 분석한 결과 flashing 처리를 했을 때가 하지 않았을 때보다 증착률이 훨씬 좋은효과를 나타낸 것으로 드러났다. 따라서 전처리과정에서 산화막처리에 따른 flashing 효과는 흑연으로의 전이를 막고, 다이아몬드 생성을 돕는 것을 알 수 있었다. |
| 저자 | 서형기 |
| 소속 | 전북대 |
| 키워드 | AES; XPS; SEM; diamond; flashing |
| 원문파일 | 초록 보기 |
