| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2001년 가을 (10/19 ~ 10/20, 한밭대학교) |
| 권호 | 7권 2호, p.4935 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 기체유량과 O2 혼합에 따른 다이아몬드박막 합성법 |
| 초록 | Hot filament CVD법에 의한 실험으로 다이아몬드 박막을 합성하였다. 증착하기전에 전처리 과정중에 flashing 방법으로 다이아몬드를 reconstruction 시켰다. 재구조된 시료를 LEED패턴으로 보면 Si(100)의 격자구조가 (1×1)에서 (2×1)으로 바꾸어짐을 알 수 있었다. 이러한 시료를 유량(100∼300sccm)에 따라 변화시키면서 유속에 관련하여 생성되는 다이아몬드의 결정성 및 증착속도를 관찰하였고, 산소를 흡입하면 비다이아몬드상의 탄소를 효과적으로 제거하여 산소를 흡입하기전의 모습에 비해 훨씬 결정성이 좋게 나타남을 관찰되었다. 또한 산소량(1, 2, 3％)에 따라 증착한 결과, 유량이 많을수록 결정성이 좋아짐을 관찰 되었고, 산소흡입량에 대해서는 기존의 1％이하보다 높은 2％, 3％로 나누어서 해본 결과 1％일때가 가장 결정성이 크게 나타난 반면, 증착률은 가장 낮은 것으로 나타났다. 증착률은 3％일 때가 가장 높게 나타났다.[1] |
| 저자 | 서형기, 트란란안, 김영순, 신형식 |
| 소속 | 전북대 |
| 키워드 | Diamond; LEED; HF CVD |
| 원문파일 | 초록 보기 |
