| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2005년 가을 (10/21 ~ 10/22, 인하대학교) |
| 권호 | 11권 2호, p.2557 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 적층형 구조로부터 상호 확산에 의해 제조된 ZrxTi(1-x)O2 박막의 확산 특성 분석 |
| 초록 | 높은 dielectric permittivity, photocatalystic activity, 고온에서의 열 안정성 등의 특징을 가진 zirconium titanate는 dielectric resonator, catalysis, humidity sensor, pigment 등의 여러 분야에서 이용되고 있으나 Zr/Ti의 성분비에 따라 물질의 특성이 현저히 변하기 때문에 적용에 제약이 있다. 따라서 Zr/Ti의 정확한 조성 조절이 원하는 특성을 얻을 수 있는 중요한 점이다. 현재 ZrxTi1-xO2를 제조하는 방법으로는 CVD, sputtering, sol-gel 법 등의 다양한 방법이 있으나 조성 조절성을 갖는 공정을 찾기는 매우 힘든 상태이다. 본 연구에서는 ZrO2-TiO2 단성분 산화막을 교차로 적층시켜 구성하였고 후 열처리에 의한 solid state reaction을 통해 조성 조절성을 갖는 단일상 ZrxTi1-xO2를 형성하였다. 단성분 산화막의 열확산에 의한 단일상의 ZrxTi1-xO2를 형성하는 광정에 있어 변수가 되는 열처리 시간 및 온도, 증착된 단일상의 상형태 등 확산의 변수에 대한 연구를 통해 최적화된 상호확산 공저에 대한 연구 및 확산 메커니즘에 대해 연구하였다. |
| 저자 | 이진욱, 송병윤, 함성식, 이원규 |
| 소속 | 강원대 |
| 키워드 | 적층형 박막; 상호확산 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
