| 초록 |
제어 시스템으로 자동 운전되고 있는 많은 실제 공정에 있어서 공정 재현성 증진, 수율 및 품질 향상, 운전 안정성 증대를 도모하기 위해서 기존 제어시스템의 Hardware를 그대로 유지하면서 최대의 제어효과를 낼 수 있도록 하기 위해서 제어 Logic의 개선, 제어기 조율 등을 수행한다. 그리고 여기서 제어를 향상시키기 위한 과정들을 수행하기 위해서는 먼저 실제 공정과 최대한 흡사한 Simulation을 충분히 수행해야 하는데, Simulation을 정확히 하기 위해서는 우선 공정의 동적 모델이 결정되어야 한다. 본 연구는 공정의 동적 모델을 결정하는 기존의 잘 알려진 공정인식 방법을 분석, 응용하여 총괄적인 공정인식을 수행 할 수 있는 프로그램을 개발하고 이를 실제 산업 현장인 Czochralski 결정성장로 공정에 적용시키는 것을 목적으로 한다. 본 논문에서는 결정성장로 공정의 제어를 위해서 Ingot Diameter 와 Pull-Speed를 제어변수로 두고, 조절 변수를 Heater의 전력량과 Pull-Speed로 두어 이들 변수들로 Czochralski 결정성장로에서의 열전달 Mechanism을 수립하여 Heater의 전력량과 Pull-Speed에 따른 Ingot Diameter를 결정 지워주었고, Pull-Speed 변화에 따른 Ingot Diameter의 동특성 파악을 위해 Pull-Speed를 Steady-State로부터 Step Change Up 시킨 실험결과를 바탕으로 적분공정계에 대한 Simulation을 시행하였다 |
