| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2005년 봄 (04/22 ~ 04/23, 여수대학교) |
| 권호 | 11권 1호, p.830 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | 단성분 다층 박막 구조로부터 solid state reaction에 의해 제조된 ZrxTi(1-x)O4 박막의 특성 분석 |
| 초록 | Zirconium titanate는 capacitors, piezoelectric sensors, ultrasonic motors 그리고 microwave dielectric ceramic resonators와 같은 전기적, 광학적 장치 뿐만 아니라 pigment와 catalyst로도 폭 넓게 이용된다. 이런 분야들의 적용에 있어 zirconium titanate의 조성 조절은 좋은 물성의 확보에 중요한 인자로 작용한다. 그러나 다성분 산화막의 조성 조절은 박막제조 기술에 있어 어려운 점이다. 본 실험에서는 TiO2와 ZrO2 단성분 산화막을 적층형 구조로 형성한 후 열처리에 의한 solid state reaction을 통해 다성분 zirconium titanate를 제조하였다. 박막 형성시 각 단성분 산화막의 두께조절을 통해 막의 조성조절을 가능하게 하였으며 이 방법을 통해 여러 조성을 갖는 zirconium titanate를 제조하였다. 이 연구를 통해 zirconium titanate막의 제조에 있어 새로운 방안을 제시고 막의 특성에 대해서도 연구하였다. |
| 저자 | 송병윤, 이원규 |
| 소속 | 강원대 |
| 키워드 | 조성 조절; 막두께 조절; solid state reaction |
| 원문파일 | 초록 보기 |
