| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2014년 봄 (05/15 ~ 05/16, 창원컨벤션센터) |
| 권호 | 20권 1호 |
| 발표분야 | A. 전자/반도체 재료(Electronic and Semiconductor Materials) |
| 제목 | 고이동도 산화물 TFT의 이슈 |
| 초록 | 지난 10여년간 눈부신 발전에 힘입어 모바일용 고해상도 TFT-LCD 와 대면적 AMOLED 의 양산제품에 산화물 TFT 가 구동소자로 진입하였다. 그럼에도 불구하고 산화물 TFT 가 기존 Si 기반의 TFT 의 시장을 대체하기 위해서는 현재 사용중인 TFT 의 이동도보다 더 높은 고이동도, 고안정성의 TFT 개발을 필요로 한다. 본 발표에서는 고이동도 산화물 TFT 구현에 필요한 고이동도 반도체, 수소에대한 Passivation, 그리고 SD 금속 재료에 대한 최근 연구 결과를 토대로 여러 이슈들에 대해 고민해본다. |
| 저자 | 박상희 |
| 소속 | 한국과학기술원 |
| 키워드 | oxide TFT; high mobility; TFT-LCD; AMOLED |
