화학공학소재연구정보센터
학회 한국고분자학회
학술대회 2008년 가을 (10/09 ~ 10/10, 일산킨텍스)
권호 33권 2호
발표분야 고분자 구조 및 물성
제목 솔-젤 공정을 통한 고유전 박막 제조 및 특성 평가
초록 유전 재료는 커패시터 특성을 이용한 콘덴서, 유전손실을 이용한 고주파 가열, 트랜지스터의 게이트 절연막등 전기전자 및 광전자 분야에 적용 가능한 재료로서 많은 연구가 진행 되어 왔다. 본 연구에서는 솔-젤 공정을 사용하여 수분산 콜로이달 타이타니아와 유기 실란을 이용한 실리카-타이타니아 졸을 제조하고 그 박막의 특성을 평가 하였다. 제조된 코팅막은 우수한 열적 안정성과 높은 투과도, 그리고 높은 막의 경도를 보였다. 또한 전기적 특성으로 경화온도에 따른 유전 특성 및 박막의 파괴 전압을 측정 하였다.
저자 김석준, 강동준, 한동희, 강동필
소속 한국전기(연)
키워드 솔-젤; 유전체; 타이타니아; 나노하이브리드
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