| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2000년 봄 (04/21 ~ 04/22, 한양대학교) |
| 권호 | 6권 1호, p.1957 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | ITO glass의 사진 식각 공정에 관한 연구 |
| 초록 | 본 연구에서는 full color display 제조공정에 있어서 중요한 공정중 하나인 Photolithography에관하여 연구를 수행하였다. 자외선 노광기술 중 근접 인쇄법을 이용하여 rpm변화에 따른 photoresistthickness, exposure time, develope time, hard baking temperature 등을 조사하여 최적의 사진식각공정 조건을 도출하였다. |
| 저자 | 황현민, 이태진, 박진호 |
| 소속 | 영남대 |
| 키워드 | Photolithography; ITO glass; Photoresist |
| 원문파일 | 초록 보기 |
