| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2021년 가을 (11/03 ~ 11/05, 대구 엑스코(EXCO)) |
| 권호 | 25권 2호 |
| 발표분야 | 포스터-환경·에너지 |
| 제목 | 반도체 클린룸 내 황화수소 및 암모니아 제거를 위한 폴리스티렌계 이온 교환 케미컬 필터 개발 |
| 초록 | 반도체 산업의 메모리의 고집적화, 회로 패턴의 미세화에 따라 클린룸 공기 중에 존재하는 각종 유기 오염물, 파티클, 자연 산화물, 금속 불순물 등 가스상 오염물질(AMCs)이 반도체 포토레지스트 내 잔류물의 요인이 되어 반도체 제품의 품질 문제와 각종 불량을 야기한다. 특히 암모니아, 황화수소 등의 산성 및 알칼리성 가스는 표면에 금속불순물이나 산화막의 성장 속도에 영향을 주며 반도체 제조공정에 미치는 영향이 중요하게 대두되고 있다. 본 연구에서는 폴리에틸렌 메쉬 지지체와 폴리에틸렌 다공성 필름 지지체를 적용해 30×40cm2 크기의 폴리스티렌-다이비닐계 양/음이온 교환 케미컬 필터를 성공적으로 제조하였으며 제조한 양/음이온 교환 흡착 필름의 이온교환용량(IEC)을 측정하였다. 양이온 교환 흡착 필름의 IEC는 1.41-0.67meq/g, 음이온 교환 흡착 필름의 IEC는 2.9-1.51meq/g로 상용화된 이온교환수지의 IEC값과 1~2 meq/g과 동등한 값을 보였다. 또한, 제조된 흡착 필름의 황화수소, 암모니아의 흡착 성능을 평가하기 위한 가스 크로마토그래피 등 분석 기반을 구축하였다. |
| 저자 | 안이삭1, 김정훈1, 강호철1, 민수빈1, 이평수2 |
| 소속 | 1한국화학(연), 2중앙대 |
| 키워드 | 클린룸; 황화수소; 암모니아; 케미컬 필터 |
